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產(chǎn)品分類(lèi)技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2026-03-09 
瀏覽次數(shù)：33
產(chǎn)品名稱(chēng)：EC-80P Non-Contact Type (非接觸式)
測(cè)量原理：渦流法 (Eddy Current method)
啟動(dòng)方式：探頭接觸樣品自動(dòng)開(kāi)始測(cè)量
測(cè)量模式：提供三種模式，分別為晶圓電阻率、體電阻率和薄層電阻（Sheet Resistance）。
該設(shè)備的測(cè)量范圍取決于所選的探頭類(lèi)型，具體參數(shù)如下表所示：
| 參數(shù) | 低阻探頭 | 中阻探頭 | 高阻探頭 | 超高阻探頭 | 太陽(yáng)能晶圓探頭 |
|---|---|---|---|---|---|
| 電阻率 (Ω.cm) | 0.001 - 0.05 | 0.05 - 0.5 | 0.5 - 60.0 | 60.0 - 200.0 | 0.2 - 15.0 |
| 薄層電阻 (Ω/Sq) | 0.01 - 0.5 | 0.5 - 10.0 | 10.0 - 1k | 1k - 3k | 5 - 500 |
適用材料：
半導(dǎo)體與光伏：硅 (Silicon)、多晶硅、碳化硅 (SiC) 等。
功能材料：碳納米管、DLC（類(lèi)金剛石碳）、石墨烯、銀納米線(xiàn)等。
導(dǎo)電薄膜：金屬、ITO（氧化銦錫）等。
化合物半導(dǎo)體：砷化鎵外延 (GaAs Epi)、氮化鎵外延 (GaN Epi)、磷化銦 (InP) 等。
操作特點(diǎn)：通過(guò) JOG 旋鈕 即可輕松設(shè)置測(cè)量條件。
該設(shè)備專(zhuān)為半導(dǎo)體及光伏行業(yè)設(shè)計(jì)，通過(guò)非接觸式渦流技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)多種導(dǎo)電材料的快速電阻率檢測(cè)，覆蓋了從低阻到超高阻的廣泛測(cè)量需求。
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