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產(chǎn)品分類
更新時間:2026-03-09
瀏覽次數(shù):36本文將介紹日本納普森(Napson)公司生產(chǎn)的 EC-80P(便攜式) 電阻率與方塊電阻測量儀。這是一款利用**渦流法(Eddy Current Method)**進行非接觸、非破壞性測量的手持設(shè)備。

這款設(shè)備最的大的特點是**“非接觸"**,它不需要像傳統(tǒng)四探針法那樣刺破或接觸樣品表面,而是利用電磁感應(yīng)原理進行測量。
測量原理: 渦流法(Eddy Current)。探頭產(chǎn)生交變磁場,在導(dǎo)電樣品中感應(yīng)出渦流,通過檢測渦流對磁場的反作用來計算電阻。
主要優(yōu)勢:
非破壞性: 不損傷樣品表面,適合測量昂貴或易損材料。
便攜性: 手持式設(shè)計,可靈活移動,適用于現(xiàn)場或?qū)嶒炇摇?/p>
操作簡便: 通過JOG旋鈕設(shè)定條件,探頭可更換以適應(yīng)不同量程。
以下是該設(shè)備的核心技術(shù)參數(shù),涵蓋了它能測什么以及測得有多準(zhǔn)。
| 參數(shù)類別 | 詳細(xì)規(guī)格 | 備注 |
|---|---|---|
| 測量對象 | 半導(dǎo)體(硅、SiC)、新型材料(石墨烯、CNT)、導(dǎo)電薄膜(ITO)、化合物半導(dǎo)體等 | 適用范圍廣泛 |
| 適用尺寸 | 尺寸/形狀不限(需大于 20mmφ 且表面平整) | 探頭直徑為20mm |
| 電阻率范圍 | 1 mΩ·cm ~ 200 Ω·cm | 厚度500μm時 |
| 方塊電阻范圍 | 10 mΩ/□ ~ 3 kΩ/□ | 全探頭總范圍 |
| 設(shè)備尺寸 | 主機:255×275×95mm (4kg) 探頭:20mmφ×80mm | 便攜設(shè)計 |
為了覆蓋從極低到極的高阻值的材料,該設(shè)備支持更換不同類型的探頭。以下是文檔中列出的詳細(xì)分檔:
低阻探頭: 0.01 ~ 0.5 Ω/□ (對應(yīng) 0.001 ~ 0.05 Ω·cm)
中阻探頭: 0.5 ~ 10 Ω/□ (對應(yīng) 0.05 ~ 0.5 Ω·cm)
高阻探頭: 10 ~ 1,000 Ω/□ (對應(yīng) 0.5 ~ 60 Ω·cm)
超高阻探頭: 1,000 ~ 3,000 Ω/□ (對應(yīng) 60 ~ 200 Ω·cm)
專用探頭: 太陽能晶片專用 (5 ~ 500 Ω/□)
根據(jù)測量對象的分類,這款設(shè)備主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體行業(yè): 硅片、碳化硅(SiC)、砷化鎵(GaAs)等外延片的檢測。
新能源行業(yè): 太陽能電池材料的評估。
新材料研發(fā): 碳納米管、石墨烯、銀納米線等新型導(dǎo)電材料的特性分析。
顯示行業(yè): ITO(氧化銦錫)導(dǎo)電薄膜的測量。
總結(jié)建議:如果你需要在不損壞樣品的前提下,快速檢測半導(dǎo)體晶圓或?qū)щ姳∧さ碾娮杼匦?,且樣品尺寸大?0mm,這款便攜式渦流儀是一個非常合適的選擇。